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投影光刻機中空氣彈簧隔振器的穩定性

來源:上海松夏減震器有限公司????發布時間:2023-05-17 09:39

空氣彈簧內部因性能以及優勢的不同,可分為各種各樣的彈簧。側重不同的空氣彈簧應用的領域不同,在購買和使用時應當注意區分。就工業領域而言,低頻空氣彈簧的使用頻率高,并且較普通彈簧而言,有更大優勢。憑借著低頻技術,這類彈簧更為穩定。
空氣彈簧隔振器并沒有讓人失望,盡管頻率較低,但穩定性值得信任。這類空氣彈簧在工作時頻率不超過三赫茲,在頻率如此低的情況下,空氣彈簧能夠完成好工作任務。同時,即便應用于性能高的機器,也能有效隔振。投影光刻機中空氣彈簧隔振器無論是在水平方向還是垂直方向,都能幾乎保持同頻共振,這樣的特性使低頻空氣彈簧穩定性較高。由于頻率較低,投影光刻機中空氣彈簧的使用壽命更長,檢修和維修的空間更大,不必頻繁更換。
除能憑借低的頻率完成任務之外,空氣彈簧隔振器還可自動調節水平方向。普通彈簧在震動的情況下,易改變水平方向,致使零件無法完成對接,工作效率低。低頻空氣彈簧則不同,更穩定的工作狀態讓這一彈簧幾乎不改變水平方向,因此能夠更快接觸到對接的零件。這也是為什么這類彈簧頻繁應用于大型的測量儀器的原因。正是憑借著自動調節方向的功能,該空氣彈簧在保證性能的前提下,還能保證進行量測的精度。
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